Communication sans acte


Etude des contraintes dans les films d’AlN déposés par pulvérisation magnétron DC
4e Journée d’Etude sur les Nouvelles Tendances en Procédés Magnétron et Arc pour le Dépôt de Couches Minces, 7 et 8 juin 2006, WTC Europole Grenoble (poster).

par   B. Abdallah , M-P. Besland , M-A. Djouadi , P-Y. Jouan , Nicolas HORNY


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique