Communication sans acte


Influence de la puissance DC et de la distance inter-électrode sur la croissance de films minces d’AlN
IEACM-2, Innovations dans l’Elaboration et les Applications des Couches Minces, Nancy, 22-24 novembre 2005 (poster).

par   B. Abdallah , M-P. Besland , M-A. Djouadi , Nicolas HORNY , P-Y. Jouan


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique