Communication avec acte


Etude des contraintes dans les films d’AlN déposés par pulvérisation magnétron DC
Volume spécial SFV : Nouvelles Tendances en Procédé Magnétron et Arc pour le dépôt de couches minces, 69-74 (2006).

par   B. Abdallah , M-P. Besland , Nicolas HORNY , P-Y. Jouan , M-A. Djouadi


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique