Communication avec acte


Stress investigation in AlN films deposited by reactive DC sputtering
Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2006, du 10 au 15 septembre 2006, Garmisch-Partenkirchen, Allemagne (poster).

par   B. Abdallah , M-P. Besland , Nicolas HORNY , P-Y. Jouan , M-A. Djouadi


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique