Article dans une revue avec comité de lecture


On the use of response surface methodology to predict and interpret the preferred c-axis orientation of sputtered AlN thin films
Applied Surface Science, 254, 1744 (2008).

par   J. Adamczyk , Nicolas HORNY , A. Tricoteaux , P-Y. Jouan , M. Zadam


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique