Article dans une revue avec comité de lecture


Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering
Rem : Rev. Esc. Minas, June 2006, vol.59, no.2, p.225-232. ISSN 0370-4467.

par   P-Y. Jouan , Nicolas HORNY , A. Tricoteaux


Thématique du GRESPI concernée par cet article :

          -Thermique