Communication avec acte
Temperature measurement of Microsystems by scanning thermal microscopy
Therminic, Belgirate, Italy (28-30 Sept. 2005), 4 pages
par S. Gomès , O. Chapuis , F. Nepveu , Nathalie Trannoy-Orban , S. Volz , B. Charlot , G. Tessier , S. Dilhaire , B. Cretin , P. Vairac
Thématique du GRESPI concernée par cet article :
Thermique